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          等離子清洗機

          更新時間:2025-03-04

          簡要描述:

          等離子清洗機作為一種微觀固體表面的處理設設備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔等目的。

          型號:Z5KQX廠商性質:生產廠家瀏覽量:392
          品牌ZKAB/中科奧博產地類別國產
          應用領域環保,化工,生物產業,地礦,航空航天

          等離子清洗機作為一種微觀固體表面的處理設設備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔等目的。

          主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。

          該清洗機內置高純石英倉體,采用了新型的電極結構設計和固態電源技術,使其有效容積增大,不同真空 氣體環境下容易匹配,且控制頻率穩定。真空倉門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內,即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時與大型清洗機相比較,從檢測功能與控制功能的設置上均可一個面板上操作,特別適用科學實驗 樣品清洗 和教學。

           

            

          設備型號

          Z5KQX

          S2DQX

          控制方式

          7寸觸摸屏人機界面

          7寸觸摸屏人機界面

          供電電源

          AC220VAC110V可選)

          工作電流

          整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

          射頻電源功率

          500W

          150W

          匹配方式

          自動匹配

          手動匹配

          清洗頻率

          40KHz

          13.56MHz

          耦合方式

          電容耦合

          工作真空

          ≤30Pa

          ≤50Pa

          腔體材質

          高純石英

          腔體容積

          5L(內徑Φ152mmX深度280mm)

          2L(內徑Φ110mmX深度220mm)

          觀察窗內徑

          Φ50

          Φ50

          氣體流量

          0-50ml/min(熱式質量流量傳感器X2個)

          真空計量程

          1E5Pa1E-1Pa(皮拉尼真空計)

          過程控制

          自動切換

          手動匹配自動切換

          清洗時間

          自動開關

          開蓋方式

          鉸鏈側開式法蘭

          外形尺寸

          450*450*250mm

          450*450*360mm

          真空室溫度

          小于65°C

          冷卻方式

          強制風冷

          標配

          KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網匣1個,電源線一根,說明書一本。





           

           

           

           


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